二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9382963 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备,为微电子器件的应用提供高级工艺优化的蚀刻和灰化技术。这种蚀刻器/粉碎器通过精确控制沉积的均匀性、可重复性和均匀性,促进了设备的高效形成、集成和增强,消除了设备层的可变性,并实现了精确的薄膜沉积。该系统集成的晶圆加热器、自动化和改进的色散技术使过程控制能够可靠有效地实现可重复结果。GASONICS PEP 4800DL Iridia利用高性能气毯装置支持各种蚀刻化学,提供业界领先的蚀刻速率和均匀性。这台机器采用了先进的软件技术,允许以可定制的方式进行过程优化和微调,从而为各种设备类型提供高质量的过程结果。蚀刻器/asher的专利动态过程集成（DPI）技术利用先进的算法在晶圆逐个的基础上优化蚀刻和研磨作业。DPI技术智能地解释晶片级数据，允许用户定制作业配方，以最大限度地提高吞吐量、产量和质量。NOVELLUS PEP 4800DL Iridia先进的软etch™技术可实现宽带、低压蚀刻,便于控制蚀刻深度的变化,而不会出现蚀刻速率的变化。这允许制造更精细蚀刻的结构和纳米级特征,从而实现更好、更复杂的设备设计。该工具由具有Adaptive Processing Control™技术的高性能全自动控制资产提供动力,使用户能够轻松调整蚀刻和灰化参数,从而实现完美的晶圆质量和均匀性。该模型还提供远程Assistance™软件,提供专业的远程按需服务,以最大限度地提高工作效率并最大限度地减少停机时间。为了进一步提高工艺效率，PEP 4800DL Iridia具有快速直流愈合和预洗涤技术，无需在蚀刻前蒸发HCl。该设备还配备了自清洁工艺，允许在蚀刻运行之间快速净化晶片。总体而言,GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是一个功能强大且先进的蚀刻器/asher系统,专为微电子器件的高质量蚀刻、灰化和沉积而设计。GASONICS PEP 4800DL Iridia具有先进的工艺优化和定制功能,出色的控制和一致性,以及高效的分散和清洁技术,是任何制造工厂的绝佳选择。