二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL #9404470 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL是设计用于半导体、材料科学和亚微米器件制造环境的最先进的等离子体蚀刻器/asher。这种设备能够执行各种蚀刻和灰化工艺，设计用于大批量生产。该系统采用双激光等离子体蚀刻工艺，意味着使用两种不同波长的激光器同时蒸发材料，在整个基板上实现出色的蚀刻精度和均匀性。GASONICS PEP 4800DL配备了一个5x5mm光束点,能够蚀刻到5nm以下的特征尺寸。该单元每批最多可容纳600个晶圆，还通过配方和编辑功能进行编程，允许用户自定义蚀刻配方以符合其特定的设备要求。该机器同时配备了化学和气源，使其能够处理广泛的材料。化学源由化学供应组成，化学供应通过柔性软管与工具相连。气源由射频供电的设备组成，该设备用于向资产供应蚀刻和灰化气体。该模型还有一个高真空室，以及几个原位和异地监测传感器，允许用户在整个蚀刻周期中监测蚀刻过程。这样可以确保高度的过程控制,并确保均匀的蚀刻性能。设备还配备了综合安全套件，确保操作员安全。总体而言，NOVELLUS PEP 4800DL是一种高度可靠和精确的等离子体蚀刻器/asher，专为大批量生产用途而设计。该系统具有出色的蚀刻精度和均匀性,能够将功能蚀刻到5 nm以下,并配备了一套功能,用户可以自定义其蚀刻配方以满足其特定的设备要求。