二手 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122247 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia是由GASONICS和NOVELLUS设计的专门蚀刻/灰烬设备，以提高蚀刻和灰化工艺的复杂性和速度。GASONICS PEP Iridia利用先进的激光烧蚀技术，为微电子工业中使用的半导体晶片的化学掩蔽和蚀刻提供了高效、通用的解决方桉。NOVELLUS PEP IRIDIA具有多轴扫描头,可在晶圆的整个表面积上实现高精度激光烧蚀。这个扫描头包含一个可配置的激光发射器阵列，当瞄准化学掩码时可以创建形状/强度组合的复杂网络。其计算机控制的扫描速度可达300毫米/秒，脉冲宽度在1-300毫秒之间。这种灵活的扫描和高速操作有助于加快否则缓慢的化学掩模和蚀刻过程。此外,PEP Iridia还使用功率为0-200 mJ/cm^2脉冲的激光源,使操作员能够根据需要微调蚀刻和灰烬过程。这提供了调整和定制的灵活性,以便能够根据手头应用程序的需求对结果进行完美定制。此外，该系统的设计考虑了用户安全，具有双安全联锁和一个新的生物弹性安全层，有助于吸收和消散冲击。整个蚀刻/灰分单元高度自动化和可配置,易于设置和操作。GASONICS PEP IRIDIA与GASONICS/NOVELLUS和GASONICS软件结合使用，使复杂的设计图纸可以快速输入，然后准确翻译成蚀刻/灰烬配方。该机器最终实现了高效、可重复和可靠的化学掩蔽和蚀刻工艺，精确度极高。