二手 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #9102816 待售
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已售出
ID: 9102816
优质的: 2005
Poly etcher, parts machine
(2) Chambers
Cluster PC
(2) PCM PC
YASKAWA Robot
YASKAWA Robot controller
Main body
Missing parts
Cluster mini controller
Left PMSC mini controller
Left PGAS mini controller
Left PMWV mini controller
Left PEOP mini controller
Left lamp mini controller
Left temp controller
Left M/W generator
Left RF generator
Left RF matcher
Left RF matcher box
Left PUMP
Left chiller
Right PMSC mini controller
Right PGAS mini controller
Right PMWV mini controller
Right PEOP mini controller
Right lamp mini controller
Right temperature controller
Right M/W generator
Right RF generator
Right RF matcher
Right RF matcher box
Right pump
Right chiller
MFC Gas 1
BROOKS
6265C
CF4 100 SCCM
MFC Gas 2
BROOKS
6265C
N2 500 SCCM
MFC Gas 4
BROOKS
6265C (Right: S9Z84402)
H2 2SLPM
MFC Gas 5
BROOKS
6265C
NF3 20 SCCM
MFC Gas 8
BROOKS
6265C
O2 50 SCCM
Includes:
(2) Chillers
No pump
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于300 mm以下晶圆加工。它可以在广泛的过程中使用，如光致抗蚀剂和剥离、屏障层、浅沟隔离和III-V复合层。GASONICS PEP Iridia建立在先进的蚀刻技术之上,具有同步气体输送（SGD）和双晶圆负载锁定接口.这样就可以精确控制所使用的化学物质，从而能够非常精确地应用所需的蚀刻物种。NOVELLUS PEP IRIDIA能够精确控制蚀刻剂中活性物种的比例，允许较高的产品均匀性和改进的工艺规格。另外还有变频气体交换（VFGE）,它允许所有系统配置上的可互换过程。PEP IRIDIA是一个完全集成的蚀刻装置，可以处理多种晶圆尺寸。它是为连续晶片加载和卸载而设计的，带有允许单个晶片过程的软件。机器可以与连接到刀具的一系列高级传感器集成在一起，从而能够实时监控过程。这增加了蚀刻工艺的准确性和稳定性。NOVELLUS PEP Iridia还通过全自动热分析资产提高了温度控制和精度。这与一个高度灵活的气体控制模型相匹配，该模型允许使用最新的PECVD和ICP工艺。总体而言，PEP Iridia是一种先进的蚀刻/asher设备，设计用于300 mm以下晶圆加工。它采用了一系列先进的技术,在蚀刻过程中实现了精度、稳定性和准确性,并采用了一系列软件来实现灵活性和定制。
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