二手 GASONICS / NOVELLUS PS 10 #9192618 待售

GASONICS/NOVELLUS PS 10是一种为半导体制造过程中的高级沉积或蚀刻过程而设计的蚀刻器/asher设备。系统由两个主要单元组成；螺旋400W电源和LAM 9600等离子蚀刻器/灰烬。它是一种经济高效的解决方桉,能够创建高质量和高精度的电路特性,如薄膜、线条、层和通风孔。螺旋400W电源由智能、自调节输出模块和可控输出级组成，在蚀刻和灰化过程中提供均匀的电流和电压。它具有灵活性,能够根据特定流程的条件和要求进行定制。此模型还提供高级控制功能,这些功能通过其用户友好的软件界面启用。另一方面，LAM 9600等离子体蚀刻器/灰化器与专门为高级蚀刻和灰化工艺开发的高密度等离子体腔室集成在一起。它配备了一个四英寸的晶片加载单元，在批量模式下最多可处理20个晶片，设计目的是为了满足行业对清洁度和工艺安全的最高要求。它还提供了一系列处理功能,例如高通量蚀刻和灰化,同时保持高精度。此外，GASONICS PS 10机器还提供互锁系统和安全流程等一系列安全功能，使其能够安全处理危险高温。该工具利用氮气淋浴和涡轮分子泵,帮助确保资产运行的清洁、安全和可靠的环境。最重要的是，该模型采用了先进的诊断设备，使其能够检测和诊断系统中可能影响其操作和性能的任何异常。总体而言，NOVELLUS PS 10单元是在半导体制造过程中进行高级沉积和蚀刻过程的有效和可靠的解决方桉。它经济高效,提供灵活的控制功能,并带有许多安全功能,有助于确保安全可靠的工作环境。可以依靠它在最具挑战性的蚀刻和灰化过程中提供一致和精确的结果。