二手 GASONICS / NOVELLUS Sierra #9312059 待售
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GASONICS/NOVELLUS Sierra是一个最先进的蚀刻器,具有先进和多用途的功能。该装置具有真空室、真空喷嘴和均匀处理平台，可对小基板进行精确和受控的蚀刻和灰化。低温沉积（LTD）过程允许非常薄的沉积。GASONICS Sierra是集成电路（IC）制造的关键工具,它允许去除物料层或沉积一层或多层薄薄的物料。它能够同时进行等离子体灰烬和干蚀刻，每种工艺都用于不同的应用。可以选择蚀刻剂以最好地适应正在加工的特定晶片基材和层材料。NOVELLUS Sierra具有很高的吞吐量，并且能够有效地蚀刻包括铝、多晶硅、氧化硅和耐火金属在内的所有类型的材料。它具有广泛的温度范围，允许各种蚀刻工艺。它非常可靠和高效,可满足最大数量的线缘粗糙度（LER）和临界尺寸（CD）要求。这使得它非常适合用于高质量的IC制造。Sierra还具有较大的腔室容量，允许处理大量的底物。它能够快速高效地去除散装物料，同时提供高精度。GASONICS/NOVELLUS Sierra具备高效转移基板的能力,提供了极大的灵活性,从而实现了高效的材料沉积和去除。GASONICS Sierra专为IC制造而设计,其工艺需要薄层和高分辨率。它提供出色的可靠性、性能和灵活性,使其成为IC应用程序的理想蚀刻器和粉碎器。
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