二手 GASONICS / NOVELLUS Strata #293760972 待售
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GASONICS/NOVELLUS Strata是为满足先进技术节点的蚀刻和灰化需求而构建的先进蚀刻和灰化系统。凭借获得专利的轮廓传感器技术,它提供了无与伦比的性能和正常运行时间。GASONICS Strata采用高端低调设计,可适应各种产品,具备确保成本优化和产量最大化的专业知识。NOVELLUS Strata旨在在各种高级节点节点上生成可重复、高质量的蚀刻和灰化结果,使其成为满足各种处理需求的理想选择。Strata的负载容量最多为两个晶圆,吞吐量最多为400 wpm,厚度均匀度小于2%,因此可以满足最具挑战性的蚀刻和灰化要求。它提供对蚀刻深度的精确控制,并提供均匀的蚀刻或灰度轮廓。GASONICS/NOVELLUS地层具有先进的氧化蚀刻室和最新的GASONICS流体输送系统，对蚀刻流体的流量和温度有可变控制。它还利用获得专利的轮廓传感器技术不断测量和监测地形，使GASONICS地层能够保持精确的尺寸，即使具有高纵横比结构。这种先进的传感技术还有助于提高工艺可靠性和防止损坏基板。NOVELLUS Strata还具有优质的等离子体灰度源，具有广泛的可选压力、功率和温度参数来定制蚀刻和灰度需求。这种先进的等离子体技术、气体和化学技术的结合使得先进材料的工程能够提供定制选项，以满足几乎任何蚀刻和灰化的需要。Strata专为易于维护和维护而设计,将高级故障诊断与远程控制支持相结合。GASONICS/NOVELLUS Strata也有内置的操作员安全互锁和设备安全互锁，以及其介电表面的可选保形涂层。它提供了较高的系统正常运行时间和较低的运营成本,使其物有所值。GASONICS Strata还得到了一系列全面的客户支持服务和培训计划的支持。
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