二手 GASONICS PEP Iridia #9293817 待售

GASONICS PEP Iridia是一种高精度蚀刻器/asher，用于制造高压晶体管、光电子、光电器件等先进半导体器件。它建立在一个全自动的400毫米平台上，具有激光驱动、扫描光学器件和双源多气体化学气相沉积（CVD）工艺。该蚀刻器/asher采用了一种新颖的非氧化等离子体工艺，不需要额外的蚀刻步骤，并且在任何基材类型上提供高膜质量和优异的均匀性。PEP Iridia配备了几种用于过程控制和可重复性的工具，包括先进的原位光学监控设备。其自适应控制系统自动维护温度、压力、气体流量和蚀刻速率等沉积参数，以确保设备制造过程的低变化和可重复。此外，内置的过程监测单元还有助于实现准确的晶圆级进程，并具有一致的跨晶圆均匀性。GASONICS PEP Iridia拥有一台精密的机器人机器，执行晶片加载、获取、排序等功能。它在透镀厚度、均匀性、精确度和线条完整性方面提供出色的性能。这使得它适合制造先进的半导体、多层电路和高宽高分辨率光掩模。PEP Iridia还具有集成的气体输送面板,可实现蚀刻过程中的最佳气流。集成控制器调节气体溷合物，确保过程控制，优化热管理。此外,利用内置的动态流程监视器,该工具可实现准确的流程监控,并提供实时流程数据反馈。GASONICS PEP Iridia是一种高性能的蚀刻器/asher，设计成即使在最具挑战性的基板上也能产生均匀、可重现、高质量的结果。其智能化的设计和用户友好的界面使其适合在广泛的半导体应用中进行设备开发和工艺优化。