二手 GIGATECH TSA2000 #9278820 待售

GIGATECH TSA2000
ID: 9278820
晶圆大小: 8"
优质的: 2014
System, 8" 2014 vintage.
GIGATECH TSA2000是为工业用途而设计的可靠且先进的蚀刻器/asher设备。适用于各种大型基板的加工,包括玻璃、石英、陶瓷、硅,以及薄膜、颗粒或复合材料。该系统也适用于涉及金属、合金和聚合物的沉积过程。TSA2000配备了多区域配置和快速的热切换能力,能够在整个基板上快速均匀地散热。这对于蚀刻和灰化过程的均匀性至关重要。该装置还设计有可靠和准确的传感器反馈,以监测和管理整个过程。GIGATECH TSA2000具有大型触摸屏液晶显示屏,使操作员能够直观地监视和控制操作的每一步。它具有直观的图形用户界面(GUI),使用户能够轻松调整参数并监控整个过程。机器配备了一个相机,放大正在处理的基板,允许严格控制操作的每一个阶段。TSA 2000先进的热搁板机设计用于改善散热,防止氧化或其他与温度有关的损害发生在任何正在处理的物体上。除了热保护外,该工具还提供对流体动力蚀刻、化学蚀刻等机械应力的控制。它还提供多种安全特性,如双卤素气密密封资产,以及通风工艺室和惰性气体大气。GIGATECH TSA2000是为平稳运行和灵活性而设计的。它配备了一系列过程工具,包括加热墨盒、自动加载系统和其他操作组件,这些组件易于升级以实现最高的生产率。由于其先进的真空技术,蚀刻器/灰化器还具有独特的低温低压沉积(LTD)环境。这样可以在500-1000°C的温度范围内进行精确的蚀刻和灰化操作。TSA2000对于需要高精度蚀刻和冲洗工艺的工业应用来说是一个理想的选择。它坚固可靠,专为速度和自动化而设计。它提供了无与伦比的精确度和无与伦比的对蚀刻和灰化过程的控制。
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