二手 GLOW RESEARCH Custom #183866 待售
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ID: 183866
RIE system
4 gas, MFC’s
O2, argon, SF6, CHF3
600 watt
Chiller included—for cooling on bottom electrode
Microprocessor controlled
Options:
-Turbo pump
-ICP.
GLOW RESEARCH定制蚀刻器/asher是一种前沿的实验室级半导体制造工具,旨在满足现代纳米制造最具挑战性的需求。结合先进的流畅度控制、精密传感器和直观的软件,此超精密的蚀刻器/asher可提供无与伦比的准确性和可重复性,以满足您现在和将来在实验室中的所有需求。Custom etcher/asher的精密传感器和高级软件可让您精确、准确地检查最多六种不同配方的蚀刻和灰度设置。有了温度、压力、电压等关键设置,所有这些都可以通过一个按钮的触摸来调节,就可以根据自己的具体需求定制个别食谱。此外,内置加热元件确保所有基板保持其所需的温度,不需要专用的热板。GLOW RESEARCH定制蚀刻器/asher还具有控制氧气、氮气和热氧化物薄片流动的先进气体控制系统。这使得即使是最复杂的基板也能进行精确的加工。其先进的传感器和卓越的气体控制相结合,可以获得极其精确和可重复的结果,蚀刻深度降至0.1nm。自定义蚀刻器/asher还带有一个非常直观的用户界面,可让您快速轻松地监控流程配方。此外,它还具有基于Web的监视系统,该系统允许远程访问您的配方设置和数据,从而允许您从世界任何地方监视流程。最后,GLOW RESEARCH Custom Etcher/Asher是一种功能强大的实验室级工具,能够完成甚至最苛刻的半导体制造项目。凭借其精密的传感器、先进的软件和直观的用户界面,它可以说是当今市场上最好的蚀刻器/分类器之一。凭借其无与伦比的准确性和可重复性,它一定能帮助提供任何纳米加工项目的最佳结果。
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