二手 GLOW RESEARCH ST1200 #9151878 待售
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ID: 9151878
晶圆大小: 10"
RIE system, 10"
DC bias for enhanced ion bombardment and anisotropy
Dark space shield to focus plasma
Variable electrode spacing
Top or bottom electrode power
Digital mass flow controllers
Baratron pressure read back
Throttle valve control
600 watt, 13.56 MHz
Touchscreen control
Multiple step recipes
Monitor process during process
End point solutions
Turbo pump
ICP
Heated chuck
Applications:
FA Applications
Spin on glass (SOG)
PECVD Nitride etch
Descum
Photo resist strip with heater
Contact slope etch
Via etch
BPSG Etch
TEOS Etch
Polyimide
Poly silicon.
GLOW RESEARCH ST1200是一种先进的蚀刻和灰化设备,用于满足各种材料加工需求。其设计注重用户安全和环境保护。该系统可用于干式灰泥和湿式蚀刻。这允许使用ST1200执行各种自定义进程。GLOW RESEARCH ST1200包括一个先进的多部分蚀刻单元，利用集成的磁搅拌机构。这样就可以在被蚀刻的材料上创建更复杂、更专业的形状和设计。它还为过程中使用的各种基材提供了灵活性。ST1200配备了可编程的高真空传感器，可监控蚀刻过程，并为每个操作编程最佳设置。这一特性确保了基板的所有区域均得到均匀处理，从而得到均匀的蚀刻速率和准确的结果。该机还兼容了一系列可选配件，如光泽仪，可以精确测量基板光泽。GLOW RESEARCH ST1200最令人印象深刻的特点之一是风冷强制空气冷却工具,它确保在蚀刻过程中保持一致的温度控制。这样可以确保周边机器和附近人员在蚀刻过程中的安全。该装置还配备了一个功能强大的自动控制器，可编程多种参数，包括被蚀刻材料的类型、蚀刻时间和冷却速率。这样可以精确控制蚀刻过程以获得最佳结果。总体而言，ST1200是一项以安全和环境保护为重点的先进蚀刻和灰化资产。它具有广泛的特点，可以精确控制蚀刻工艺，以确保统一的结果和附近人员的安全。该设备还与一系列可选配件高度兼容,以实现额外的定制和准确性。
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