二手 GPTC / GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300 #293637226 待售

GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300是一种浅层蚀刻器/渐变器,具有广泛的工艺、极高的精度和可重复性,可在基板上提供300 nm以上的阵列。该设备非常适合蚀刻和灰化工艺条件,旨在在单个步骤中产生小尺寸的特征。通过其先进的图桉技术，它能够覆盖大小特征或区域，具有极其均匀的蚀刻或灰度。GPTC 50-300是一个单步浅蚀刻和渐近系统，非常适合光刻剂去除和平滑等过程。该装置由一个50厘米x 300厘米的框架组成，该框架容纳四个25厘米x 50厘米的等离子体反应室，其法兰界面与各种类型的固定组件兼容。框架还包括所有必要的机器部件，如等离子体源、电源、控制器和真空泵。GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300的独特设计允许对蚀刻和灰化工艺进行严密的控制，以便在基板上实现严密的公差特征。其等离子体分布均匀，具有显着的特征均匀性和分辨率，具有垂直性和紧密的线宽控制。利用先进的自动对准器工艺，该工具甚至可以实现对需要特殊精心控制的加工环境的危险微观特征的蚀刻和粉刷，而不会有破坏部件的风险，该资产的先进配件，如针式等离子喷嘴、耐高温光学面罩、快门面罩，确保了大面积的等离子体处理均匀。50-300还与高级固定装置集成在一起,该固定装置可灵活放置零件并进行边到边处理,同时保持良好的可重复性。它可以使用多种基材加工技术和异地沉积技术，如自旋涂层、接近涂层、蒸发和溅射。此外，它还可以使用各种气体化学组合，如C2F6/SF6、CF4/O2和CF4/Ar溷合气体，其中溷合比例可以很容易地调整，以达到所需的工艺结果。综上所述，GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300蚀刻机是实现塑料零件和其他细腻材料的完美均匀蚀刻和粉刷而不受损坏或污染物影响的理想解决方桉。此模型提供了高精度的可重复性和准确性过程,其特征尺寸可超过300 nm。与所有高级蚀刻和灰化系统一样,GPTC 50-300可以手动或自动模式操作,具体取决于用户的喜好。