二手 HENNIKER Nebula 50 #293754252 待售

HENNIKER Nebula 50是为半导体、MEMS（微机电系统）和光电工业中的先进表面处理工艺而设计的尖端蚀刻器/asher设备。这种高度专业化的设备结合了蚀刻和灰化功能，为纳米级的精确材料去除和清洁应用提供了一个通用平台。星云50的核心技术是基于高性能的RF（射频）等离子体源，产生一个受控的等离子体环境，可以有效蚀刻或灰烬各种材料，具有高均匀性和重复性。该系统具有坚固的真空室，具有精确的气流控制和温度管理能力，以确保不同基板类型和尺寸的最佳工艺条件。HENNIKER星云50的关键强项之一是它在处理各种材料类型方面的多功能性，包括硅、二氧化硅、金属、聚合物以及其他用于先进半导体和微加工工艺的奇特材料。该装置提供各种工艺气体和气体溷合物，以根据特定的材料去除或清洁要求量身定制等离子体化学。星云50的蚀刻能力允许选择性地去除基板表面的物质层，以产生高长宽比和亚微米分辨率的错综复杂的图样、沟槽或vias。此功能对于制造具有精确几何形状和尺寸的高级半导体器件、MEMS传感器和光学元件至关重要。另一方面，机器的asher功能提供了强大的清洁和表面改性工具，用于去除基板表面的有机污染物、光致抗蚀剂或高分子残留物，而不会损坏底层材料。此工艺对于蚀刻后残留物去除、晶圆回收和在随后的沉积或光刻等处理步骤之前的表面制备至关重要。HENNIKER Nebula 50配备了先进的等离子体诊断和过程监测工具，以确保对蚀刻和灰化过程的实时控制和优化。可以精确调整等离子体密度、离子能量、气体分压和基板温度等参数，以达到所需的材料去除率、选择性和表面质量。此外,该工具还具有用户友好界面和直观的软件控制,便于配方设置、过程参数调整和数据分析。星云50设计用于无缝集成到自动化生产线或研究实验室中,在表面处理应用中提供高吞吐量和高效率。总体而言,HENNIKER Nebula 50是在半导体行业中要求苛刻的蚀刻和粉刷应用的最先进的解决方桉,能够以卓越的性能和灵活性实现精确的材料处理。其先进的技术、稳健的设计和用户友好的操作使其成为推动纳米级工程和制造边界的通用工具。