二手 HITACHI 300LE #293667223 待售

HITACHI 300LE蚀刻器是一种高能力的蚀刻和灰化设备，用于微电子器件的高精度和高速烧蚀和蚀刻。300LE是一种坚固可靠的真空蚀刻器/灰化器，主要使用碳、氮化物和氧化物的蚀刻化学方法。HITACHI 300LE配备了全尺寸步进电机系统，能够确保在X、Y和Z方向的精确控制和定位。它能够提供高达1150mm/s的基板蚀刻速度，用于微电路和超导体的快速蚀刻。蚀刻器/asher单元提供精确的位置控制以及先进的温度和时间控制功能。它还提供了用于管理基板温度的SCA参数以及用于控制时间的WCA参数。它的高分辨率显示屏配有高亮度LCD和图形化的用户界面，可以让用户轻松操作和监控整个机器。300LE具有在线过程控制,包括用于电弧控制的循环波形、用于蚀刻化学供应的气流比例控制器、用于溶剂蒸发的带有排水口的水力洗涤器、腔室惰性气体再循环工具和Y轴、X轴和Z轴运动控制资产。此外,HITACHI 300LE蚀刻器具有高水平的安全性和符合人体工程学的设计,配有安全盖、真空安全检测器和紧急停止开关。它具有广泛的工艺控制功能，允许用户针对多种基材优化其蚀刻和灰化工艺。300LE还提供低、中、高蚀刻速度选项,以及广泛的蚀刻化学方法,可快速去除任何氧化物、氮化物和碳基抗蚀层。总体而言，HITACHI 300LE蚀刻器是微电子基板高精度、高速蚀刻的绝佳选择。利用其可靠的蚀刻化学和精确的位置控制，用户可以在蚀刻和灰化过程中获得高质量的结果。