二手 HITACHI DM 421P #9286876 待售

HITACHI DM 421P是专门为晶圆处理而设计的蚀刻器/asher。它具有紧凑的设计，有四个独立的工艺室和一个简单的用户界面。设备用滑动门封闭，以尽量减少外界环境对敏感晶片材料的影响。系统可以在一个过程周期内同时处理多达四个晶圆。它带有易于使用的生产配方脚本引擎、晶圆处理程序和3轴线性传输机制。该单元的水平加工室具有均匀的温度分布，以确保在晶片上均匀蚀刻/放灰。DM 421P采用了具有精确温度控制的高精度温度控制器，实现了卓越的温度均匀性和准确性。其干式和湿式蚀刻功能使工艺工程师能够优化其配方以满足其应用要求。该机还配备了一套先进的自动化原位电化学监测器和传感器，提供实时过程监控和反馈。智能传输工具可有效地处理晶片,而晶片处理命令可为多个过程实现简单、可重复的自动化。HITACHI DM 421P还提供了一些安全功能,如惰性气体清除、排气口关闭报警器和紧急排气口。这些功能可保护操作员免受潜在污染物的影响,并确保提高过程的可重复性和可靠性。DM 421P附带了一套全面的软件工具,使用户能够优化配方并提供有关商会资产参数的详细历史报告。利用这些工具，用户可以评估他们的工艺配方的有效性和模型的性能。总体而言,HITACHI DM 421P旨在为用户带来高精度晶圆处理功能,从而提供良好的控制和可靠的性能。它结合了独立的腔室、高效的晶片处理和全面的软件，使其成为任何蚀刻和灰化应用中不可或缺的工具。