二手 HITACHI / KOKUSAI RAM-8500ZX #9389474 待售

HITACHI/KOKUSAI RAM-8500ZX是一种先进的蚀刻和粉刷设备,专为大批量生产装有复杂电路的晶圆而设计。该系统与多种底物兼容，包括硅、石英和砷化的，能够创造出极精确的图样，其特征尺寸低至0.25 μ m。该单元由于其高吞吐量和并行处理能力，对高密度集成电路（HDIC）的制造特别有利。该机由多个单元组成，包括一个主控制器、一个气体和排气工具、一个控制器柜和一个真空泵。主控制器是资产的核心，由8组专用CPU供电，用于计算精确蚀刻参数和提供运动控制命令。它还能够监测模型过程并诊断任何问题。气体和排气设备负责供应蚀刻和沉积所需的气体，还负责安全排出废旧气体。控制器机柜容纳了系统运行所需的所有电子元件，包括控制器板、处理卡和I/O接口。最后，真空泵负责在单元腔内产生真空进行蚀刻和沉积。该机还配备了自动晶片装载机，允许晶片的自动装卸和倒置。HITACHI RAM-8500ZX利用多个离子源对电路图样进行蚀刻和沉积。这些离子源是可编程的，能够以较快的循环时间提供广泛的蚀刻和沉积过程。这一切都提供了出色的粒子控制，以保证高质量的结果。此外，该仪器还配备了尖端的安全特性，使其极其可靠和易于使用。总之，KOKUSAI RAM-8500ZX 蚀刻/asher工具是生产高密度集成电路的有力工具。它提供精细的特性大小，快速的循环时间，以及出色的粒子控制。它也极其可靠和用户友好，允许高容量和自动化的生产。该仪器非常适合任何类型的印刷电路板蚀刻和灰化需要。