二手 HITACHI / KOKUSAI RAM6500 #9251841 待售

HITACHI/KOKUSAI RAM6500是为工业和研究机构设计的最先进的蚀刻器和asher。这款市场领先的真空处理设备配备了先进的技术，将高精度蚀刻、晶圆切割和短时ashing功能结合在一个用户友好的工具中。HITACHI RAM6500提供了无与伦比的多功能性,因为它的集成设计允许在单个操作周期内提供多种配方。其先进的功能包括温度控制设备、范围广泛的工艺室以及方便操作设置的用户友好界面。温控系统保持恒定的工艺条件，提供可靠准确的结果。此外，宽范围的加工室可以容纳各种基材尺寸，从芯片到200毫米，允许更大的灵活性和更广泛的应用范围。KOKUSAI RAM 6500的用户友好界面允许用户轻松保存、召回和修改蚀刻参数。该工具还配备了安全功能，在发生任何操作变化时警告用户，从而提供最佳安全性。此外,RAM6500还提供了出色的过程可重复性,可重复性得分在0.1 µm ±以内,确保了与每个铸造厂运行的高精度和一致性。该单元由多种组件组成，包括控制器、自动基板支架、真空室、惰性气体输送机、蚀刻工具和灰化资产。所有这些组件协同工作,以快速高效地实现用户所需的配方。此外,HITACHI/KOKUSAI RAM6500能够同时蚀刻多达四个晶圆,从而提高了工艺效率并减少了总体工作量。总体而言,HITACHI RAM6500是一款高级蚀刻器/asher,它提供出色的工艺能力、多功能性和易于操作。它能够实现高精度的蚀刻、切割和灰化,并结合用户友好的功能,使其成为满足各种蚀刻和灰化需求的理想解决方桉。