二手 HITACHI M 308 #47835 待售
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HITACHI M 308是一款为广泛的微电子应用而设计的蚀刻器/asher。它的特点使得它成为一个可靠的表面制备工具和先进的过程,如蚀刻和灰化。HITACHI M-308是一种用户友好且精确的仪器,非常适合表面制备。M 308配备了24位数字控制来检测热失控,这有助于防止对基板的任何损坏。温度的精确控制有助于一致的蚀刻深度和均匀的蚀刻结果。此外,M-308还设计用于通过精确的时间和温度控制来保护敏感基板免受热降解的影响。HITACHI M 308附有不锈钢盖及内外室壁。这种不锈钢材料有助于在整个机器中保持恒定的温度和热失控保护。腔室壁具有特殊的隔热材料,可防止操作过程中散热。HITACHI M-308设计具有气体安全阀和警报设备等安全功能,可阻止任何超出安全限制的气体流动。除此之外,M 308还配备了两个监测室内压力的压力传感器和一个用于精确温度控制的热电偶。M-308还包括一个过程中的照片控制系统,该系统自动调整蚀刻周期的功率和宽度,以达到最佳蚀刻速度。HITACHI M 308软件还包括蚀刻过的铜质参考照片,使蚀刻器能够精确调整其循环参数。最后,HITACHI M-308提供了一个可调的蚀刻周期和一系列允许用户选择所需深度、速度和宽度的工艺配方。M 308还有一个具有1步收缩时间的自动平移单元,有助于确保所有区域的均匀蚀刻,从而更容易复制结果。最后,M-308是一个先进的蚀刻/asher设计了广泛的微电子应用。其精确的温度控制和广泛的工艺配方使得它成为一个可靠的工具表面制备和先进的工艺,如蚀刻和灰化。其其他特点,如气体安全阀、警报机、自动平移工具,使其安全易用。
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