二手 HITACHI M 308 #9068909 待售

HITACHI M 308是一款专业的自动化Etcher/Asher，旨在提供高精度、低成本的基板蚀刻和灰化。它的特点包括高频静电蚀刻器，以及低频静电灰化器，可以同时处理底物的化学和物理镀金。这可以实现可靠的蚀刻/灰度处理,具有出色的重复性和均匀性。设备本身由一个基站、一个ashing室、一个气源和两个机柜组成。基站包含控制气体流动和利用所需的所有电子和加热元件，以及设备的控制面板。灰化室是在蚀刻/灰化过程中放置基材的地方，气源提供了用于加工的气体。这两个柜子分别装有气源和灰烬.该装置利用射频和直流源的组合来蚀刻和灰分基板。在射频蚀刻中，高频源通过外部的低阻抗发生器进行控制，该发生器用于将射频电流通过要蚀刻/灰化的物体。射频蚀刻能够通过多种金属和介电材料进行蚀刻。另一方面，直流蚀刻用于蚀刻/灰分更细腻，放热底物更少。它利用一个低频源，这绕过电流通过基板以远更受控的方式。HITACHI M-308还包括一些安全和诊断功能。其中包括过程中监控、性能读数和紧急关闭系统,以确保用户和产品的安全。它的温度和沉积速率范围是可调的，使使用者可以灵活地实现各种程度的蚀刻/灰化。此外，它的低成本和小尺寸使得它成为任何实验室、生产或研究环境的理想选择。