二手 HITACHI M 308 #9190914 待售

HITACHI M 308是为半导体工业中的应用而设计的蚀刻和asher设备。它可用于各种工艺的蚀刻和灰化，如接触孔、条纹和通风孔。该系统专为高吞吐量而设计，能够一次控制多达八个腔室。该单元配备了多种特性，使其适合各种工艺。它有一个高度灵敏的温度控制机器，保证了精密蚀刻和灰化的稳定温度。它还具有低电弧电工工具，可最大程度地减少有害火花和电弧损坏的风险。其高能离子束源确保在整个基板上均匀覆盖和均匀蚀刻。离子束可以在能量和强度上进行调谐，从而可以精确控制蚀刻过程。此外，资产有氢气净化模型，防止颗粒粘附到晶圆表面，并尽量减少污染。该设备具有先进的等离子体蚀刻技术，能够通过提高分辨率提高蚀刻速率。腔室设计有四个晶圆碗，一次最多可处理四个晶圆。它还有两个独立的机械臂系统，允许晶片板的装卸。系统中包含的安全特性使其适合在洁净室环境中使用。该装置配备了不尊重自我的计时器，在存在潜在爆炸性或危险性材料的环境中操作是安全的。该机器还有一个气体分析仪工具，其设计用于检测任何气体泄漏的资产。总体而言，HITACHI M-308是一种高效可靠的蚀刻器和asher模型，适用于半导体行业的各种应用。设备精确度高，设计具有温度控制系统、离子束源、氢气净化单元等先进特点，确保性能最佳。这一点，加上它的安全特性，使得它成为一个理想的机器在洁净室环境中使用。