二手 HITACHI M 308 #9271719 待售
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ID: 9271719
Metal etcher
Transformer box
RF Generator
Remote console
SHIMADZU Power source
Microwave generator
Cooling pump
Stainless steel doors
Spare parts.
HITACHI M 308 蚀刻器/asher是一种高性能蚀刻和灰化设备，专门设计用于半导体器件的开发和生产。它配备了最新的自动化过程控制和监控系统，并且高度可靠和高效。该系统是一个完全集成的蚀刻和灰化单元，能够处理范围广泛的基材，如硅片、砷化氙基材和其他基材。它能够从单一平台进行蚀刻和灰化操作，具有较高的吞吐量和优异的表面均匀性。该机配备了先进的精密设备，包括高精度的蚀刻和灰化室、气体循环器/淋浴室以及基板晶片旋转木马工具。蚀刻室和循环器/淋浴室具有自动气体供应（AGS）资产，它允许用户以非常精确的方式控制气体供应。蚀刻器/aser模型还具有一个复杂的基板跟踪设备，该设备在蚀刻和灰化过程中自动检查基板的状态，并报告任何异常或错误。系统的温度控制单元确保在整个过程中保持所需的蚀刻和灰度温度，而气体输送机使用户能够选择所需的真空水平，这可以用来控制蚀刻速率。该工具还配备了先进的图像处理资产，可用于在蚀刻和灰化过程前后分析和评估基板。此功能允许用户优化每种特定基材的蚀刻和灰化速率。HITACHI M-308是一种可靠、高效且高度自动化的模型,能够处理各种基材。其自动化的过程控制和监控系统使其易于使用和高度可靠，而其先进的特性和灵活的基板处理设备使其成为半导体器件制造的理想选择。
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