二手 HITACHI M 308AT #102525 待售
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HITACHI M 308AT是一种蚀刻器/asher,对于制造现代集成电路设备时使用的物理蚀刻方法至关重要。这种装置可以进行制造半导体器件所需的干蚀刻工艺,以及在许多微机械应用中采用的各种蚀刻和灰化工艺。HITACHI M-308AT的主要目的是提供一个坚固、可编程的系统,能够准确、一致地蚀刻和灰烬,以满足现代微电子制造所需的严格规格和公差要求。该装置具有多种蚀刻模式操作,允许用于金属、硅、二氧化硅等多种材料。M 308 AT采用双腔室设计,其中一个腔室包含样品腔室,另一个用于蚀刻。样品室包含保存样品的掩模,蚀刻室向样品室提供蚀刻气体。真空用于在两个腔室之间产生压差,从而实现更有效的蚀刻。该装置还包含一个内部控制器,负责控制压力、流量、温度、气体流量和蚀刻时间等蚀刻参数。这使设备能够编程为可重复、高精度的蚀刻。该设备还具有多项安全功能,以确保安全的操作环境。该设备能够以0.1秒的最小蚀刻时间进行蚀刻,使其在制造过程中减少蚀刻时间,同时仍保持准确性和可重复性。此外,HITACHI M 308 AT具有5年保修,支持其高质量和可靠的操作。综上所述,M-308AT是一种对现代集成电路器件制造中所采用的物理蚀刻方法至关重要的蚀刻器。它具有双腔室设计、内部控制器以及多种蚀刻模式操作,使其成为多种材料蚀刻和灰化的通用装置。该装置还具有高品质、安全导向的设计和5年保修,使其成为蚀刻和灰化应用的可靠选择。
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