二手 HITACHI M 308AT #9410880 待售
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HITACHI M 308AT是为半导体加工应用而设计的蚀刻器或asher。这台专业级机器的尺寸为30厘米，一定能满足许多工业用户的需求。HITACHI M-308AT的腔室直径为11英寸，高度为6.7英寸，非常适合洁净室操作。它最多可以处理8"晶片，同时支持4"和8"晶片，让你在操作中节省空间。M 308 AT也有8型处理序列；表示类型A、B、C和D。每个序列都有不同的用途,可以根据要处理的材料类型而有所不同。A型提供单一腔室内的均匀蚀刻，而B型则设计用于双腔室内的均匀蚀刻。C型最适合在单室中选择性蚀刻，而D型则设计用于在双室中选择性蚀刻。每种模式都提供可以依赖的统一、可重现的蚀刻结果。M 308AT还有一个自动化控制器，使生活更轻松。这允许您对处理序列进行编程,指定晶片加载和卸载,以及监视温度和设置警报。此控制设备可以连接到您的计算机,以随时了解操作参数并记录已完成的工作。它有一个功能强大的软件，帮助管理系统，让你保存和召回食谱。M-308AT室还配备了惰性气体单元，有助于降低蚀刻过程中颗粒沉降在晶片上的风险。它还配备了有助于在蚀刻过程中保持温度恒定的冷却机。这使得它非常适合需要高精度结果的干蚀刻应用。此蚀刻器/灰化器具有一次最多可容纳20个晶片的喷嘴。可以设置喷嘴中晶片的间距，因此可以容纳几种不同类型的晶片。这与低气流相结合，使其成为多种流程的理想多合一机。HITACHI M 308 AT设计用于光刻、湿法化学蚀刻、离子植入等干蚀刻工艺。由于它的双室工具，这台机器也可以与化学机械抛光（CMP）等湿蚀刻工艺一起使用。这是一台可靠的专业级机器，一定能满足您所有的蚀刻需求。它还易于使用，其自动化控制器和用户友好软件。HITACHI M 308AT附有直观易懂的用户手册,可帮助您进行任何可能需要的故障排除。
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