二手 HITACHI M 308ATE #293660510 待售
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ID: 293660510
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Metal etcher, 6"
Microwave: 2.65 GHz
RF Bias: 2 MHz
3 ECR Coils
Etch chamber
Microwave ash chamber: 2.65 GHz
(2) Load locks
Transfer chamber
MFC
Chiller
Power supply
2000 vintage.
TheHitachi HITACHI M 308ATE是M系列中最顶尖的蚀刻器/asher。它是一种功能强大、用途广泛的工具，用于光刻制造工作和其他特定于行业的用途。它采用低维护设计和紧凑设计。其特点包括气流控制、可编程精密深度控制和高级控制台。M 308ATE能够蚀刻金属、玻璃和结晶表面。它具有高密度的气流控制功能，允许每一层精确的气流。气体控制可以通过控制台进行调整，因此用户可以达到工作所需的确切压力水平。深度控制以微米的方式调整蚀刻/灰度的深度，允许极其精确的蚀刻。HITACHI M 308ATE的控制台是高级的,它提供了可根据作业设置的多个控件。这包括气量、气压、速度控制，以及深度、面积等每一层的精细调整。它还有一个多语言显示，允许多种语言的用户使用蚀刻器。M 308ATE采用低维护设计,这意味着它需要最小的维护才能保持正常运行。其紧凑的设计使其易于融入到大多数工作区域，以及运输到工作现场。蚀刻器还带有内置的过滤器和排气系统，可防止灰尘和其他污染物。HITACHI M 308ATE是一种坚固可靠的蚀刻器/asher,具有很高的精度和控制能力。它的多功能性使其成为任何制造作业的理想选择,而其低维护设计使其无需持续维护和关注即可执行严格的蚀刻/灰化项目。它的高级控制控制台使用户能够实现极其精细的蚀刻/灰度处理,而其紧凑的设计使其能够完美地适应任何工作环境。
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