二手 HITACHI M 308ATE #293799553 待售
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ID: 293799553
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Etcher, 8"
Missing parts:
EC Turbo pump
Turbomolecular pump controller
Chamber process kit
Chiller
Pumps
Scrubber
Transfer robot
LL / UL cassette motor
AC gate cylinder
Magnetron generator: EC, AC
SEIKO SEIKI STP-H2000K Turbo pump
Micro PC
1995 vintage.
HITACHI M 308ATE是一种先进的蚀刻和灰化机，设计用于研究和工业应用。它是非常可靠的，产生均匀的磨损模式，具有极高的精确度。该干蚀刻器具有闭环系统，并配有先进的流量控制单元，可确保蚀刻速率和产生的图样可重现。蚀刻过程由气体扩散喷嘴启动，该喷嘴产生均匀的均匀蚀刻气体流动。然后，这种气体被引导到基板材料，在那里它穿透表面并导致其侵蚀。这种受控侵蚀完成后，气体从蚀刻区域排出，剩下的一层灰烬。机床使用石英管帮助调节灰化过程的温度。这可以让使用者自订不同材料的温度，允许快速有效的蚀刻。M 308ATE还具有内置的保护功能,包括电弧抑制和防止电子设备故障,使其成为可靠、安全的解决方桉。机器有一系列的功能和设置，允许侵蚀蚀刻和过程控制。例如,可以调整功率级别以适应正在蚀刻的材料。此外,可以调整蚀刻速率和频率,确保获得最佳结果。该机器还可以产生非常精细的高分辨率模式，使其成为研究和工业应用的宝贵工具。该机还具有一系列安全特性，包括噪声抑制和防弧故障，以及内置冷却系统。HITACHI M 308ATE是用户寻求可靠、高性能的蚀刻器/asher（可用于研究和工业设置）的完美解决方桉。其先进的流量控制单元和可调节的设置确保产生的模式是统一的，可重现的，准确的。
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