二手 HITACHI M 308ATE #9410977 待售

HITACHI M 308ATE是一种用于半导体生产的蚀刻器/asher。它是一个完全自动化的系统，生产高质量的设备，非常精确。它采用高精度步进电机、强大激光器和固体氧化物蚀刻工艺的组合。该单元设计用于可靠、高速、可重复的蚀刻和等离子体灰化。其高速、直线电机驱动的X-Y级在最大直径48.5毫米的零件上提供快速定位和精度。它还具有一个自动手臂，可以在一个平面上移动并装载到舞台上。该系统能够通过厚硅基板进行蚀刻/灰化,而不会损坏或扭曲设备的精细结构或电路。M 308ATE采用四级蚀刻工艺，采用湿法蚀刻和等离子体蚀刻相结合的方法，这种方法涉及对底物的轰击，其中包括用的是的气体溷合物。激光能够在电路布局中创建类似全息图的图样,并为成型设备提供了极其快速的机制。此外,系统利用四级异步进程在正确的时间触发下一个步骤周期。用户友好的操作使得它非常适合广泛的应用，从批量生产到研发。它具有多种参数设置和每个步骤的用户可编程功能,从而实现了多用途和准确的操作。此外,它还具有高度的安全性和可靠性,并具有自动监控和控制等内置安全功能。HITACHI M 308ATE是一款创新且可靠的蚀刻器/asher,可提供高分辨率、高精度和高速生产。它为半导体生产提供了一个全面的解决方桉,提供了一个可靠高效的平台,可提高成品零件的生产率和质量。