二手 HITACHI M 308NFXW #9103889 待售

HITACHI M 308NFXW
ID: 9103889
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
Aluminum etcher, 8" Gas: BCl3, CL2, CHF3, O2, N2, He 1993 vintage.
HITACHI M 308NFXW 蚀刻器/asher是一种高性能的机器,在各种蚀刻和灰化应用中提供精确和控制。该机设计用于执行包括等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻和感应耦合等离子体蚀刻在内的多种操作。该装置由一个自动调整的两级气体输送系统提供动力,该系统提供对蚀刻和灰化应用的最佳控制。M 308NFXW拥有圆形等离子体发生器,提供清洁、均匀、可靠的放电,以达到高质量的蚀刻/灰化效果。该系统可确保蚀刻/灰化材料能够在较低的温度下进行加工,同时提供高精度和可靠性,从而产生一致的蚀刻/灰化结果。此外,该单元还包含一个受控环境室,其中包括一个高密度绝缘材料,以减少损坏和污染基板的风险。HITACHI M 308NFXW还具有可根据要求调整的大型压力真空系统,有助于确保工作环境均匀,并提供最佳蚀刻和灰化效果。M 308NFXW在控制工艺的蚀刻和灰化参数方面提供了很高的精度。这包括可控压力和基板的温度,以及蚀刻/灰化气流和最佳分辨率的蚀刻/灰化结果。HITACHI M 308NFXW还包括一个用户友好的控制面板,可方便操作和调整各种参数。总体而言,M 308NFXW Etcher/Asher是一款用于各种蚀刻和灰化应用的优秀机器。它能够以一致的精度提供可靠和均匀的结果,从而确保在产生优异的蚀刻/灰化结果时的质量。这使得HITACHI M 308NFXW成为各种应用程序的理想蚀刻器/asher。
还没有评论