二手 HITACHI M 318 #9144927 待售

HITACHI M 318是一款多功能蚀刻/asher设备，旨在满足各种应用的需求。这种可靠的系统要求操作和维护需求极少但用途广泛,从而降低了操作成本并提高了可靠性。M 318的加工室尺寸为250W x 200D x 200H mm,最高源温度为1000 °C。该单元的设计考虑了大面积均匀性和可重复性。它具有一个自动化的可编程晶片操作单元，带有电动卡盘、空气轴承表、真空机和电子控制的基板温度传感器。可调宽范围石英水平托盘和带集成端部效应器的电子驱动悬臂促进了晶片的操作。该工具集成了计算机控制的发电机和汽化模块，可精确控制沉积速率、温度和沉积物料的数量。这有助于简单或多层在基板上的均匀沉积。计算机控制也便于阳极氧化和蚀刻参数的优化和调整。HITACHI M 318带有一个定制显示器，可以通过触摸屏操作，并提供所有参数的可视化监控。它还具有先进的晶圆温度控制和一系列编程选项,包括各种终端效应器位置,其中包括测量和分析每个晶圆的温度剖面的能力,为产品开发提供了宝贵的工具。M 318附带高级软件,包括自动配方生成器,以方便流程的设置。这有助于提高蚀刻或灰化过程的速度和准确性，同时还允许可重复的过程操作。为了进一步提高可靠性,资产包括内置诊断模型和Internet连接,以确保定期远程监控和故障排除。为了安全起见，HITACHI M 318具有内置排气设备，以及全面的紧急关闭按钮。它还配有气体阀、真空系统、空气过滤器等一系列安全设备。为保证系统的稳健性，应定期进行维护，以确保最佳性能。M 318是一个高度可靠且用途广泛的蚀刻/灰化单元，非常适合陶瓷、电介质、聚合物和金属的蚀刻以及晶片的灰化或晶体切片等一系列应用。与所有薄膜沉积工艺兼容，HITACHI M 318既适合研究实验室，也适合制造作业。