二手 HITACHI M 318SX #136433 待售

HITACHI M 318SX是一种半导体蚀刻器/asher仪器,用于精确高效地执行各种LE（光刻蚀刻）工艺。M 318SX专为成熟的半导体应用而设计,是一款功能齐全的模板蚀刻器/asher,能够通过精密的机电设计,生产出超薄的多层器件。HITACHI M 318SX采用多图样设备（MPS）来准确高效地绘制精密结构图案,同时提供高质量的聚合物薄膜结果。M 318SX采用集成工艺解决方桉（IPS）,能够将线条和空间特性缩小到0.25微米,同时还提供包括单、双和三个阵列在内的各种功能。HITACHI M 318SX执行高离子蚀刻电流等离子体蚀刻和灰化过程，包括背面蚀刻、大衣蚀刻和选择性蚀刻各向异性蚀刻（SEAE），可用于形成高纵横比通道和沟槽。M 318SX具有先进的高分辨率3D成像系统,并配有高分辨率FIB/SEM,可实现极精确的蚀刻。HITACHI M 318SX还能够执行电化学蚀刻和湿蚀刻过程,具体取决于要蚀刻的材料和特征。M 318SX非常适合单步和多步流程,并且可以轻松地与自动化流程控制系统集成。再者，HITACHI M 318SX还配备了大型触摸屏显示屏，让用户为了最大效率和便利定制界面。M 318SX是一个非常通用、高效的单元，用于生产各种LE工艺的精密蚀刻和asher结构。利用其强大的MPS和IPS功能以及高分辨率成像和FIB/SEM, HITACHI M 318SX能够生产具有令人难以置信的精细特征分辨率的纤细多层设备。M 318SX是一个理想的解决方桉，为经验丰富的半导体用户寻找能够提供卓越性能和无与伦比的过程控制的机器。