二手 HITACHI M 501 #9161262 待售

HITACHI M 501是一款轻型多用途蚀刻器/asher,在多种过程中均提供卓越的性能和可靠性。M 501提供蚀刻和灰化功能,最高温度可达950°C,另一个选项可高达1100 °C。这种组合提供了先进的工艺，如太阳能晶片变薄，通过孔隔离，和先进的MEMS制造。晶片放置在盒式磁带上，装入HITACHI M 501的上腔，而下腔容纳过程气体和射频线圈。M 501的宽度为12，"深度为16"，在63磅时高度为14"，设计为适合大多数可用的实验室空间。HITACHI M 501拥有一套内部安全关闭功能,包括过温和过压保护。M 501的内部设计包括三个独立的石墨加热器块和三个上、下工艺室的独立保护室。HITACHI M 501以手动或自动模式运行,可通过自己的专有软件进行编程。启动过程后,可以从彩色LCD触摸面板监视和记录内部压力、温度和气体流量。M 501传感器还允许精确的温度和压力控制,以确保晶圆的一致蚀刻或灰化。HITACHI M 501还使用了自偏置技术，例如Heimann蚀刻器，它可以实现极高的处理速度，每小时高达1200晶圆。这增加了蚀刻或灰化过程的吞吐量和均匀性。此外，该室是独立的，这意味着它是密封的，不需要一个洁净室操作。这提供了流程迁移的可能性,并允许在各种不同的实验室或工业环境中在必要时使用M 501。总体而言,HITACHI M 501是一款可靠、高效的蚀刻器/asher,可用于多种应用程序。它的密封设计确保了一个干净的过程，安全参数的套件确保它可以完全安心操作。M 501具有用户友好的控制和高级功能,是工业和实验室应用的理想选择。