二手 HITACHI M 501AW #9142682 待售

HITACHI M-501AW是一种用于半导体晶片精密蚀刻和灰化的蚀刻器/灰化器。它能够在高速和严格的公差下进行蚀刻,具有极好的可重复性。M-501AW利用最先进的技术来确保晶圆质量，并且可以同时与高频和基于等离子体的蚀刻技术一起使用。HITACHI M-501AW具有多个工艺入口和出口、高密度处理能力、灵活的控制系统和最佳的气体控制功能。M-501AW能够在平面或大型开放式3-D工艺站上进行蚀刻。它具有高精度的自动加载和卸载的晶片与轨道锁定位置，保证位置精度和重复蚀刻模式。HITACHI M-501AW的气体控制技术允许对各种工艺气体进行最小的气体流量和精确的动态控制。M-501AW可以控制每个蚀刻步骤中的多种气体，从而实现更精确的蚀刻过程。HITACHI M-501AW设计为可靠有效的asher。其尖端技术确保了高吞吐量、低污染和卓越的均匀性。它还具有先进的真空系统，可最大程度地减少粘连风险，并确保在蚀刻过程中超低颗粒水平。M-501AW的等离子体蚀刻预清洁步骤也有助于降低灰尘水平，提高工艺重复性。HITACHI M-501AW也是一款超高精度的asher。其自动灰化过程确保每次蚀刻深度准确且可重复。它可用于各种应用,包括深度蚀刻、后端线（BEOL）处理以及具有高长宽比的阵列。M-501AW还设计为环保、低功耗和先进的气体管理系统，以减少气体消耗和提高安全性。总体而言,HITACHI M-501AW是一台先进的蚀刻和粉碎机,专为各种应用程序中的精确且可重复的过程而设计。它具有自动化、准确性和效率,使其成为满足所有类型的半导体晶圆蚀刻和灰化需求的理想解决方桉。