二手 HITACHI M 501AWE #9130052 待售
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HITACHI M 501AWE是一种适用于实验室和工业应用的最先进的蚀刻器/asher。此设备专为高性能蚀刻而设计,可实现高密度的特性和更高的吞吐量。M 501AWE具有多种用户友好的功能，使其成为各种蚀刻和灰化需求的理想选择。HITACHI M 501AWE是一种多功能机器，具有集成的自动晶圆运输设备。该系统提供了一个逐步的过程，以获得最佳的蚀刻结果，从而便于操纵晶片。机器也有一系列的液体喷射清洁能力，使得晶圆上的任何粉末残留物都可以去除。该机器受益于两阶段蚀刻工艺，产生更均匀的蚀刻。第一步是在溶液中进行湿蚀刻或蚀刻，第二阶段是在等离子体或反应性气体中进行干蚀刻。双过程使M 501AWE能够减少蚀刻过程中可能出现的缺陷的形成。HITACHI M 501AWE可用于可变角度蚀刻（VAE）。VAE提供了对蚀刻过程的精确控制，使用户能够以不垂直或水平角度蚀刻结构。此特性通常用于精细细微结构的制造中。机器有一个内置的冷却装置，有助于保持蚀刻过程在一个一致的温度。M 501AWE上可用的宽温度范围允许用户设置大多数材料的蚀刻温度。内置气体机还有助于调节气流，以达到最佳蚀刻效率。此外，HITACHI M 501AWE可用于精密细线蚀刻。这是一个实现高精度结果的过程，从而产生更高的生产精度和更高的产量。该机还具有先进的自动曝光工具,可提供一致且可重复的蚀刻结果。总体而言，M 501AWE是一种非常好的蚀刻器，适合广泛的工业和实验室应用。凭借其广泛的特性和功能,它提供了用户友好、高效的设置,并提供了高水平的控制和准确性。
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