二手 HITACHI M 501AWE #9133882 待售
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ID: 9133882
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Plasma etching system, 8"
System configuration:
2-Metal etching
1-Ashing CH
Etching CH gases: O2, CH4/Ar, CL2, BCl3, Ar, CH2F2, H2
Ashing CH gases: O2, CH3OH
Gas Jungle Information :
Cl2: STEC7440, 200SCCM
BCl3: STEC7440, 200SCCM
N2: STEC7440, 50SCCM
SF6: STEC7440, 50SCCM
O2: STEC7440, 200SCCM
Ar: STEC7440, 300SCCM
CHF3: STEC7440, 100SCCM
CH4: STEC7440, 200SCCM
HW unit :
PC Rack
Transfer box
Main body
Power supply unit
Temp control unit
Chiller
1997 vintage.
HITACHI M 501AWE是一种工业蚀刻器和asher,设计用于高温和/或高压应用。这款蚀刻器/asher采用四级蚀刻工艺,在包括铝和不锈钢在内的大多数金属上创造出精确耐用的光洁度。其结果是一个高度详细和持久的产品。M 501AWE采用最高级部件和焊接不锈钢框架建造。其坚固的结构有助于抵御高温和高压,其精心设计的安全特性确保它可以在各种环境中安全操作。蚀刻器/asher还具有广泛的可变控制功能,可实现精确和经济高效的操作。HITACHI M 501AWE采用四阶段蚀刻工艺,从磨料爆破开始,使工件表面粗糙。然后用酸蚀刻来蚀刻掉不需要的材料。第三步是化学粘合剂,在材料用蚀刻剂或粉碎剂完成之前促进粘附。蚀刻器/asher装有板载空气压缩机,方便且能蚀刻大部分金属,包括铝和不锈钢。空气压缩机允许快速、一致的蚀刻和压力。该单元还包括一个数字计时器,允许用户设置蚀刻或灰化过程的时间长度。当然,M 501AWE还配有种类繁多的配件。这些包括保护屏蔽和溅射屏蔽以保护机器,蚀刻枪喷嘴以将蚀刻溶液射向工件,以及许多其他。有了这些配件,蚀刻器/asher可以是塑料、陶瓷和玻璃部件。HITACHI M 501AWE包括额外的安全功能,例如安全互锁开关、热过载保护和空气压缩机防静电盖。它还包括一个可调的温度控制,以确保精确度和一致性的蚀刻过程。M 501AWE是一种用途广泛且可靠的蚀刻器/灰化器,能够精确、可靠地执行蚀刻和灰化过程。其坚固的结构、广泛的可变控制以及全面的安全特性,使其成为用于高温和/或高压应用的绝佳选择。
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