二手 HITACHI M 511 #293656260 待售

HITACHI M 511 etcher/asher是一款用途广泛、功能强大的机器,可为各种应用程序提供高精度和可重复的结果。蚀刻器/asher设计用于在实验室和生产环境中执行精密蚀刻和灰化过程。适用于蚀刻玻璃、塑料、陶瓷、金属和一些复合材料。蚀刻器/asher可用于单层或多层去除、文本蚀刻、图样蚀刻和薄膜灰化。HITACHI M-511具有最先进的晶圆处理设备,非常可靠和灵活。它具有多语言液晶控制面板、具有先进安全功能的多室板和自动温度控制功能。先进的安全系统包括紧急停止和紧急输入控制。该装置旨在保护操作员和蚀刻器/灰化器免受危险操作的影响。蚀刻器/asher还包括一台独特的自清洁机器,无需在操作之间手动清洁。M 511具有功能强大的3轴自动舞台，最大舞台移动300 x 300 mm。其蚀刻/灰化能力额定为8英寸晶片,但可通过可选的扩展电源蚀刻多达12英寸晶片。该机通过优化多步骤工艺的蚀刻速率，提供了工艺质量和可重复性的均匀性。蚀刻速率高达5-10 nm/min,蚀刻分辨率高达1 μ m。它还具有溶剂回收能力和废物收集托盘。M-511还拥有各种定制和多功能性配件。这包括用于气体蚀刻的气体模块、用于高分辨率薄膜蚀刻的样品板以及用于高速处理的脉冲激光模块。它还包括一个用于更苛刻应用的高真空端口，以及一个室温处理选项。HITACHI M 511是实验室和生产设施的理想解决方桉,需要可靠且经济高效的蚀刻和灰化工具。它具有卓越的精度和可重复性，非常适合高精度蚀刻操作。该机具有用户友好的界面，包括多种高级安全功能。它的附件选项使得这台机器高度可定制，适合一系列的应用。