二手 HITACHI M 511 #293829872 待售

HITACHI M 511是一款低功耗、中等性能的蚀刻器/asher，用于各种基材的化学和物理蚀刻。适用于电子、半导体、光伏等行业的广泛应用。该设备广泛应用于研究和生产环境。系统的主要部件是静电蚀刻室，其中低压电场由强大的磁体产生。蚀刻是通过对底物上的离子进行高能轰击的过程完成的，然后将其用于在表面上创建所需的图样。室内真空通过增加离子的迁移率来优化蚀刻过程。HITACHI M-511先进的控制单元对工作压力、流量和蚀刻速率等各种参数提供精确的蚀刻控制。这样可以确保薄膜的均匀蚀刻,从而实现很高的分辨率。该腔室采用不锈钢压板，有助于减少不希望的侧壁基板蚀刻。机器还包括一个软件，提供自动控制蚀刻过程。它具有强大的算法，提供了最佳的蚀刻轮廓，可控制的参数，如脉冲频率和脉冲持续时间，以及用户友好的图形界面。该软件还使用户能够在其内存中存储多达10种不同的蚀刻配方。此外，该工具还装有用于化学蚀刻的气体输送资产。这允许安全和精确地输送不同的蚀刻气体，例如氧气、氯气和六氟化硫（SF6）。气体输送模型的孔口是可调的，以控制气体流量。M 511是一款可靠且用途广泛的蚀刻器/asher。它在设计时考虑了用户安全，先进的控制设备使其成为电子、半导体、光伏行业广泛应用的理想选择。