二手 HITACHI M 511 #9257744 待售

HITACHI M 511是属于HITACHI系列产品的蚀刻器/asher。它是为薄基板的蚀刻和灰化而设计的。HITACHI M-511是一种多通道设备,具有四个独立的蚀刻和/或灰化通道,能够独立或同时运行,以提供高通量处理。它的设计采用了能够产生低至0.01 Torr的真空，从而在薄膜材料的蚀刻/灰化方面实现了最佳操作。M 511配备了组件调平和车道修整能力，以确保每个晶圆的均匀性和稳定的电流流动。此外，该系统还有一个薄膜厚度监测装置，可自动补偿基板蚀刻/灰分速率的任何轻微漂移。集成的安全机器可防止基板过度蚀刻或过灰,以确保精细材料在加工过程中不会损坏。M-511配有集成的氮流控制器,有助于确保安全、高效的处理环境。HITACHI M 511采用坚固耐用的设计,每小时可处理多达150个晶圆,是实现精确蚀刻和灰化要求的通用工具。