二手 HITACHI M 511 #9356465 待售

HITACHI M 511
ID: 9356465
晶圆大小: 8"
Plasma etching system, 8".
HITACHI M 511 蚀刻器/asher是一种全自动、最先进的蚀刻和灰化设备。它具有触摸屏界面,具有直观易用的菜单,非常适合初学者和专家。使用HITACHI M-511您只需轻按几下显示器,即可精确控制蚀刻和灰化时间、温度和压力。该系统还针对所需的压力和温度变化提供自动校准。该单元使用单一的一米溅射源,可调整以匹配所需蚀刻或灰烬的深度。该机配有双10角电极,赋予其高效电化学处理的高功率密度。这些电极可以连接在一起,甚至更高的处理速率。电极的新设计也保证了精确的热控制和热均匀性。此外,M 511允许可调的输入功率高达500瓦,以实现快速优化的蚀刻和最大产量。该工具还包括易于监控的内置观察窗口、用于压力调节的电源控制开关、用于保护资产免受高脉冲的超压安全开关以及紧急停止按钮等安全功能。为了获得最佳安全,M-511还具有双重安全模型。双重安全设备使用两个级别的安保,以确保所有参数都在预先设定的安全限度内。为了提高效率,HITACHI M 511配备了一个自动采样设备,用于检测蚀刻和灰化过程的当前参数。然后,该设备可以对这些参数进行快速、准确的调整,从而节省时间并提高产量。HITACHI M-511还包括各种其他功能,如用于常见蚀刻和灰烬过程的智能预设程序,对当前过程的实时监控,以及用于维护最佳参数的自动调整算法。系统还具有存储用户信息和设置的内存单元。最重要的是,HITACHI为M 511提供1年保修。这使得它非常适合那些在预算和购买这种一流的蚀刻和灰化机时给予安心。
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