二手 HITACHI M-602 #9364269 待售
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HITACHI M-602是一种广泛使用的蚀刻或灰化设备,设计用于在晶圆上执行蚀刻和灰化过程。它是一种用于生产半导体晶片的工具，用于蚀刻晶片表面不希望得到的材料层。M-602可用于制造一系列晶片,例如单晶硅和绝缘体（SOI）晶片上的硅。HITACHI M-602具有等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）室,能够执行高速灰化过程。它配备了高效的射频发生器，产生持久的等离子体放电。对PECVD腔室进行了优化，以创建一个经过修改的气氛，以便于蚀刻和灰化过程。此外，PECVD腔室设有石英窗口，可以清晰观察等离子体处理进度。M-602还有一个晶圆传输设备，可以将晶圆从PECVD腔室传输到分析系统或处理托盘。晶圆传输单元设计用于高精度晶圆定位，为用户提供了精确蚀刻和ashing晶圆的能力。此外，HITACHI M-602还配备了自动背面处理机，提供晶圆背面的自动清洗过程。M-602提供了几种操作模式，这些模式是为满足不同类型晶圆加工的具体要求而量身定制的。它还带有一个内置操作工具（OSI）,允许用户调整和存储蚀刻/灰化过程的参数。此外,HITACHI M-602还具有一系列诊断工具,包括离线监控资产、温度/压力传感器和其他杂项安全/监控功能。总体而言,M-602是一种高级蚀刻/灰化设备,专为在晶圆上执行蚀刻和灰化过程而设计。它具有许多特性和功能,使其能够促进高精度蚀刻和灰化过程。HITACHI M-602易于使用,可针对各种类型的晶片和应用进行定制。此外，M-602旨在提供可靠和高效的结果。
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