二手 HITACHI M 612A #9266136 待售

HITACHI M 612A是一种多功能蚀刻和asher设备,可为各种处理要求提供强大、精确和可靠的解决方桉。M 612A提供高吞吐量功能,最高速度高达40万个零件/小时。它的高效处理能力得到了多种过程模式的促进，如脉冲蚀刻和脉冲灰烬。系统包括两个处理头，每个头都有一个2英寸的工作区，允许高分辨率的处理。该单元具有两种不同的加工模式，允许加工各种材料，包括非金属材料。对于蚀刻，机器采用感应耦合溅射工具，利用高频变压器在工区内产生不稳定的等离子体。这种等离子体使目标物质经历一个小的物理位移，打破分子键并允许粒子被驱离。脉冲消散过程利用感应耦合等离子体源和高压脉冲发生器产生高温等离子体。这种等离子体可以达到高达3500 oC的温度，允许聚酰亚胺、聚酰胺和聚碳酸酯材料快速高效的灰化。HITACHI M 612A可以加工多种基材，包括硅片、陶瓷基材和石英。它被设计为高度可靠，通过使用外部控制器和自动断电来减少停机时间，控制器还监控过程参数，并允许用户调整溅射速度、进程数量和过程时间等设置。M 612A的设计是为了安全起见，在处理过程中不释放有害气体，并使用过滤过的废气资产吹走任何残留颗粒。该型号还配备了内置热加热设备，有助于确保操作员的安全。总体而言，HITACHI M 612A是一种高度可靠和高效的蚀刻和灰化系统，适用于各种基材。其广泛的工艺模式和精确的控制能力使其成为创造微电子元件发展所需的高分辨率特征的理想选择。