二手 HITACHI M 712 #9314719 待售

HITACHI M 712是一款蚀刻器/asher，非常适合广泛的光刻、金属化和半导体加工应用。该工具具有最先进的经济和性能特点,包括高精度自动晶片对准、超高速吞吐量以及广泛的沉积/蚀刻功能。微处理系统设计最大晶圆尺寸为8英寸，可实现高生产率和提高特征精度。该蚀刻器采用两级机理，将自由离子反应性离子蚀刻与化学辅助蚀刻相结合，具有优异的蚀刻质量，不会产生电弧的不利影响。双等离子体保证了紧密几何形状的更有效蚀刻，基板损伤更小，蚀刻更均匀。蚀刻器/asher还利用专利的分体式淋浴板、J-filt和真空集成实现超高蚀刻速度和吞吐量。分体式淋浴板有助于最大限度地减少遮罩不对准,并提供卓越的厚度控制.J归档技术最大限度地减少了蚀刻开发时间,并允许从边缘进行蚀刻。真空集成紧密密封腔室，减少外界污染。该系统带有一个基于Windows的图形用户界面，允许对配方进行简单的编程和监控。包括离子生成反馈和气体流动状态在内的集成控制功能提供了高通量的准确过程控制。此外,该工具还附带了一个高级诊断程序,该程序可连续监控系统性能并提供数据记录选项。此外，M 712集成了离子密度监测仪、温度传感器、压力表、通过系统等多种安全功能。压力传感器报告腔内压力变化，可用于检测异常情况，而内置的安全特征则在异常情况下提供警告信号。这确保了安全和高效的过程。总体而言,HITACHI M 712是各种光刻、金属化和半导体加工应用的理想蚀刻器/灰化器。其卓越的性能和安全特性使其成为重视质量和效率的用户的绝佳选择。