二手 HITACHI M 712E ECR #9172571 待售
网址复制成功！
ID: 9172571
晶圆大小: 8"
Plasma etcher, 8"
Wafer loading module:
(3) Cassette load ports
Four-axes robot
Wafer centering unit: Notch alignment and centering
Fan filter unit
Buffer / Loadlock chamber:
Two-axes robot
Buffer turbo molecular pump
Man / Machine interface:
PC with Magnetic / Optical drive
LCD Display
Keyboard / Pointer
(2) ECR etch chambers
(2) Gas boxes
One per chamber: Ar, Cl2, SF6, HBr, CF4, CHF3, O2, spare
(2) Capacitance manometers
Penning gauge
Microwave power monitor / Auto tuner
Chamber temperature control module
Etch turbo molecular pump
Etch coil magnet: 3-Coil type
Coil cooling water flow sensors
Dual input endpoint detection system
Backside Helium cooling
(2) Power supply units - One per chamber
(2) EC Temperature controllers - One per chamber
Facility interface box
Transformer box
FFB Unit.
HITACHI M 712E ECR是为广泛应用而设计的高级电化学蚀刻/冲洗（ECR）机器。该装置体积小巧，易于操作，由于能够快速准确地蚀刻/粉刷各种材料，因此提供了高质量的效果。机器利用独特的多轴系统,包括主轴、进给轴和Y轴。X、Y和Z轴由伺服电动机提供动力，而主轴则自主运行。这台机器能够在从塑料和金属到石材、陶瓷和玻璃的一系列材料上进行蚀刻/灰化。M 712E ECR提供可靠的精度和速度。该设备带有一个板载内存,最多可容纳5个作业,从而方便了作业召回和快速重复。这加上其高输出直流电流使得机器能够处理具有挑战性的蚀刻/灰烬应用。它具有高电阻率的石英材料，可以轻松地达到专业水平的精确度，同时还有一个除尘罩，用于减少工作区域周围的灰尘和碎屑。HITACHI M 712E ECR非常易于使用。它采用了具有7英寸触摸屏显示屏的直观用户友好界面,让用户轻松调整操作参数。该机还具有自动预置功能，以最小的操作员干预确保最佳效果。它还向操作员提供实时反馈,确保他们能够快速确认其结果的质量。M 712E ECR是一种经济高效的机器，操作成本经济。它提供三年有限保修,确保快速有效地处理任何问题,从而使用户有信心以最小的停机时间操作计算机。总体而言,HITACHI M 712E ECR是用于蚀刻/灰烬应用的理想机器。其多轴系统和高输出直流电流使其能够快速准确地工作，而直观的用户界面和实时反馈为操作员提供了轻松的作业召回和结果确认。该设备经济高效的运营成本和三年保修使其成为一项明智的投资,保证了最佳效果。
还没有评论