二手 HITACHI M 712E #293750871 待售
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ID: 293750871
优质的: 2000
Etcher
(3) Load ports
(2) Etch process Chambers
Buffer module
Transfer module
Process kit
EPD detector
SHIMADZU Turbos
HITACHI robot
EDWARDS IQDP dry pump
SMC Chiller
(7) Stick gas panel on each chamber
2000 vintage.
HITACHI M 712E是一种针对各种设备制造操作而设计的蚀刻器/asher。该设备是独立于平台的非接触式设备，提供可靠和可重复的蚀刻工艺。该系统擅长各向异性蚀刻以及边缘、触点和通气的精确修剪。该蚀刻设备支持广泛的蚀刻工艺，包括氧化铝、硅化物和移植物蚀刻。这确保了它是各种设备制造操作的理想工具。该设备采用了获得专利的进给通路设计，可实现精确的蚀刻控制和快速的喷嘴更换。它还提供自动气体测序，以确保最佳蚀刻性能和准确性。该单元允许背面通过蚀刻以及晶圆保护,从而在过程步骤中提供可靠的保护。其硬件设计由电子热源、射频发生器和气体输送机组成，确保温度分布均匀，蚀刻产量高。除了提供出色的温度控制和可重复性外，其强大的微处理器即使在具有挑战性的条件下也能确保最佳性能和精确蚀刻。该工具支持多种容器几何类型,包括最多六个蚀刻室,可灵活快速交换腔室。此外,它还具有多层工艺周期,使其能够处理各种蚀刻动态和参数。结合资产的用户友好界面，操作员可以直接监控参数以实现高效蚀刻过程。最后，它的光轴对准能力确保了更高的精度，最多有六个运动轴，允许精确的晶圆对准。总体而言,HITACHI M712E 蚀刻器/asher旨在为各种设备制造操作提供可靠、可重复的结果。它获得专利的进给方式设计有利于生动的过程控制和快速的喷嘴更换。该模型还具有强大的微处理器、坚固的硬件元件和光轴对齐功能,使其能够处理甚至具有挑战性的条件和主题。它的用户友好界面允许操作员直接监控参数以实现高效的蚀刻过程，而多层工艺周期则迎合广泛的蚀刻动态。
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