二手 HITACHI M 712E #9008886 待售

HITACHI M 712E是一种蚀刻/灰化器,设计用于高精度和高速蚀刻和灰分材料,包括晶圆稀释和残渣去除。它具有高达6.5 mm2/min的高速精密蚀刻能力，采用先进的自适应等离子体发生器系统，可根据需要精确控制蚀刻和灰分速率。HITACHI M712E的底盘由钢板增强钢板组成， 确保设备的稳定性和耐用性,而其内部组件包括一套抽屉式抽水系统以及一台100 kV/1250V频率脉冲发生器,灰分时间范围为0-60秒。它还包括一个电磁浴, Eme-ARM处理卡盘、两个气动缸组件和一个高真空气体面板。M 712E其他有助于其卓越性能的特性和组件包括独立的、高性能的天线、多级自动流量控制、自动改变大气层电路以及独立的两级电极天线。用于过程监控的Ethernet/RS-485接口确保了系统的轻松操作和控制,全彩色液晶触摸屏使用了易于理解和使用的直观符号和字符,使用户能够以极高的精度和速度处理设备。M712E使用的真空参考技术进一步确保了opera-tors能够准确监控工艺速率、温度、气流、压力等参数。HITACHI M 712E的用户界面旨在最大限度地提高处理效率，并允许对机器和材料特定的设置如批处理、面板、晶圆尺寸、蚀刻速率等进行配置。它还包括实时显示晶圆状态、工艺结果和详细操作记录的数据功能。该机器提供在线和离线操作,能够进行多步骤处理,并且可以使用多种程序模式来满足不同的处理要求。HITACHI M712E易于使用和安装,旨在在运行过程中保持最高安全级别。它还符合一系列全球安全标准，并通过CE标记以及UL和RoHS等其他认证。