二手 HITACHI M 712E #9105848 待售

HITACHI M 712E 蚀刻器/asher是一种高精度的仪器，用于分析和沉积前的样品处理。此蚀刻器/灰化器专为小或大样品区域的蚀刻或灰化而设计,具有很高的精度、效率和安全性。蚀刻/灰化工艺用于去除材料表面的污染物或修改表面特性并准备样品进行分析。它具有免维护、全计算机控制的操作功能,能够实时监控蚀刻/灰化过程和反馈控制系统,以获得最佳效果。该单元配备了将所有相关组件集成到单个紧凑设备中的多合一设计。由精密样品室、样品加热器、真空泵、蚀刻/灰喷嘴组成。该室由高级不锈钢制成，包括用于气密密封的不锈钢衬里和优越的隔热材料。包括一个可调样品支架，用于在进行过程时将样品固定到位。样品在精确的温度下加热以启动蚀刻/灰化过程。真空泵用于排空腔室，去除气相反应产物，创造低压环境，有助于防止反应产物吸附到样品表面上。通过打开蚀刻/灰烬喷嘴以在大气压下产生聚焦离子流来激活蚀刻/灰化过程。高速、聚焦的离子流有助于蚀刻或粉刷材料表面。可以调整蚀刻/灰分喷嘴，以提高蚀刻/灰分工艺的效率，减少反应时间。根据样品的不同，气流也可以与蚀刻/灰分喷嘴结合使用，或作为独立的蚀刻/灰分工艺使用。HITACHI M712E 蚀刻器/asher适用于包括高通量研究、半导体和微电子器件制造、医疗器件制造表面调理等多种应用。该装置设计为在高达200 ℃的高温下运行,最大压力为1 Torr,最大蚀刻/灰分速率为10 nm/min。M 712E具有直观易用的界面,为蚀刻和灰化应用程序提供了高可靠性和高性能。它是为最佳的用户安全和效率而设计的，并以较低的维护要求提供可靠的操作。