二手 HITACHI M 712XT #293750872 待售
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ID: 293750872
优质的: 2006
Etcher
EPD detectors with OES and EPD computer systems
SHIMADZU Turbos
EDWARDS IQDP and PUP Dry pump
Dual zone temperature ESC
HITACHI Robots
(4) Floor chillers
(3) Load ports
(2) Etch process chambers
Chamber 1: (8) Stick gas panels
Chamber 2: (10) Sticks gas panels
Dual wafer substations on transfer module
Process kit included
2006 vintage.
HITACHI M 712XT是一种蚀刻器和asher,设计用于精密蚀刻和粉刷晶片、箔、玻璃和其他材料。这种装置利用双氮化的加倍电子CCD（EMCCD）成像技术，提供了更好的分辨率和对比度，使得极精确的图样和晶圆灰化。晶片两侧的同时成像提高了质量和工艺稳定性，而热头的均匀性使其成为具有挑战性的工艺应用的理想选择。高速级和快速扫描速度提高了关键应用程序的效率并缩短了周期时间。该设备包括CCD图像采集单元和级控制器，可确保样品的精确对准和定位。它还配备了一个精密的镀锌定位系统，以提供最快和最精确的灰化操作，用于单样和多样应用。舞台可以编程150-500 mm的行程，以容纳各种尺寸的晶片。M 712XT提供了对加工参数和工艺设置的广泛控制。这样可以快速调整结深度、退火温度和蚀刻速率等参数。它通过模拟信号输入提供外部触发、模拟信号和控制。内置功能强大的控制软件使面板类型的操作易于实现这些多模块功能。该设备出色的性能和易用性使其非常适合要求苛刻的光刻工艺,包括细线分辨率和深轮廓退火。它的多功能性通过与各种精密蚀刻和粉刷材料的兼容性进一步增强，包括硅、二氧化硅、石英和硅酸盐玻璃，{各种模块配置可以用来提供高精度、高精度或高厚度的图桉}这种装置提供了一些出色的特性，使其成为最强大的蚀刻器和粉刷器之一。其离子蚀刻速率控制可实现快速蚀刻和灰化,提供高的材料去除速率.耐化学、不锈钢外壳和密封光学器件可保护样品免受污染,而安装在弯曲上的晶片支架可使晶片保持精确的水平。HITACHI M 712XT是一种高度通用和可靠的蚀刻和灰化系统,可精确处理具有挑战性的材料。其强大而精确的控制软件提供直观的操作，同时它与各种材料的兼容性和快速的蚀刻速率控制有助于确保优越的效果。
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