二手 HITACHI M 8190 XT #293755402 待售

HITACHI M 8190 XT是一款高度先进的湿工艺蚀刻器，设计用于高精度制造，如半导体芯片生产。利用仅在M 8190 XT上可用的不对称气流，可以精确控制蚀刻过程，以获得最佳蚀刻深度和形状。HITACHI M 8190 XT也允许使用一件设备同时蚀刻多个基板。该机器具有一个独立的、动态控制的加工室，在蚀刻过程开始之前将其泵送到低压水平。将蚀刻气体和其他化学物质引入腔室，然后由可编程气体控制器精确调节。电源用于产生蚀刻所需的电压和安培。M 8190 XT的电极配置允许为每个基板设置不同的蚀刻时间，为要求最苛刻的微加工应用提供最高水平的控制和精度。HITACHI M 8190 XT的电子设备在设计时考虑到了易于操作。包括彩色液晶触摸屏,以便于设置和操作,同时使用直观的界面轻松设置和存储参数。M 8190 XT具有保护免受有害化学蒸气危害的多种安全特性，如完全封闭的工艺室设计和三次过滤预清洗系统，其设计目的是在蚀刻过程开始之前从该室中除去任何微粒。本机附有多种与大多数标准基板相容的配件，如硅片、氧化铝、氮化氙等。此外,HITACHI M 8190 XT的腔室设计用于优化气流,从而能够在低于传统系统的压力下进行蚀刻。总体而言，M 8190 XT是一款极其先进的蚀刻器，设计用于高精度微加工和高度控制的蚀刻工艺。HITACHI M 8190 XT具有可编程气体控制器、直观的触摸屏显示屏以及众多安全和辅助功能,为蚀刻工艺提供了最高水平的性能。