二手 HITACHI SPC-500B #9386049 待售

HITACHI SPC-500B是一种真空蚀刻和灰化设备，可用于从样品中精确蚀刻沉积的材料，而不会损坏细腻的材料。该系统采用蚀刻和灰化室以及真空泵的组合，以保证在蚀刻过程中的精度和精确度。SPC-500B能够在350°C的温度下蚀刻材料,并具有313 mm x 220 mm的可用样品平台,可用于以最小样本量有效蚀刻电路板和组件。该单元本身具有强大的10 kW底部吸收式射频源、GHF-8处理室、自动冷却器、控制单元和真空泵。自下而上的射频源工作频率高达2 MHz,能够蚀刻一维或多深度特征。GHF-8加工室由内壁衬砌的不锈钢构成，以防止飞溅，并包括位于腔室顶部和底部的两个加热室。这些加热室能够提供高达350°C的等温、均匀温度。自动冷却器是HITACHI SPC-500B的重要组成部分，用于将腔室温度保持在所需的水平，以获得最佳效果。此功能允许该工艺在受控温度范围内运行,从而提高了蚀刻和灰化工艺的精度。控制单元用于整体操作机器，确保过程能够得到准确监控。这包括能够调整蚀刻功率、温度和工艺时间，让用户能够准确控制蚀刻过程。最后，真空泵用于在蚀刻过程中保持腔室真空，允许使用低残留、无残留或溷合残留的应用进行蚀刻。总体而言,SPC-500B是一种高级蚀刻和灰化工具,可提供可靠、准确和精确驱动的结果。它在温度控制的真空环境中运行,是需要精确蚀刻精细元件的工程师的理想工具。