二手 HITACHI U-712A #9211532 待售
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HITACHI U-712A是HITACHI Instruments, Inc.的干蚀刻机,HITACHI Instruments, Inc.是微电子工业先进技术的全球领先者。这种最先进的蚀刻机专为先进的表面金属化技术而设计,是去除表面氧化物、高长宽比图桉等应用的理想工具。HITACHI U712A的优势在于能够以精细的分辨率和精确的控制材料的去除和沉积来蚀刻。利用化学蚀刻工艺对100纳米以下的表面金属化产生可靠的结果。该蚀刻机包括先进的功能,如集成晶片卡盘和基于真空的镀层工艺,以获得准确的结果。U-712A蚀刻器的加工面积很大,晶圆表面直径可达16英寸。其化学蚀刻工艺允许高蚀刻速率和优异的产量,使其非常适合批量生产。集成过程控制系统允许高精度,可重复性为0.1微米。它还具有自动加载、卸载和过程覆盖功能,以确保可靠性和一致的结果。除了尖端的化学蚀刻技术外,U712A还具有多种安全功能,包括远程监控、激光安全联锁和集成过程监控。这确保了操作员和设备的最高安全级别。HITACHI U-712A的维护也非常简单明了,这要归功于该工具的自我诊断和易于更换的消耗品。总体而言,HITACHI U712A是一种用于先进微电子应用的可靠且经济高效的蚀刻解决方桉。其先进的功能和强大的蚀刻速率确保了快速和一致的结果,而其安全功能则确保了最佳的操作员和设备保护。其先进的加工控制和过程监测还可以精确控制材料的沉积和清除,以及可重复的过程,以提高产量和可靠性。
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