二手 HITACHI U-722 #150986 待售

HITACHI U-722是一种用于制造半导体晶圆的蚀刻/asher设备。它是由等离子体源和法拉第笼组成的干蚀刻系统。等离子体源由感应耦合等离子体和射频放电模块组成，法拉第笼是一种介电衬里的外壳，用于保护晶片不直接暴露于等离子体。U-722有一个ICP源,能够产生高达1,200 w的功率,并配备两个400w和两个800w感应耦合等离子体（ICP）源。等离子体是由氙气、氢气和氧气的气体溷合物产生的。该等离子体由ICP等离子体源产生，并包含在法拉第笼中。然后将晶片暴露于产生化学蚀刻过程的等离子体中。此蚀刻过程将材料从晶圆表面移除,从而产生可用于创建复杂电路结构和组件的图样。HITACHI U-722是一个紧凑且易于使用的单元。该设备具有直观的软件，能够精确控制蚀刻参数和射频电源，可以调整以提供最佳蚀刻结果。它还包括用于数据存储和操作的内置计算机。U-722适用于多种材料，包括硅、氧化硅、钨、钛和氮化钛。也适用于4"至8"的晶圆尺寸，能够达到高达10 nm/min的蚀刻速率。该机还具有广泛的蚀刻参数，允许用户实现"自图桉"蚀刻过程。HITACHI U-722具有出色的蚀刻能力，被认为是市场上最好的蚀刻系统之一。它被用于多个领域，包括制造集成电路、光电器件和电信元件。U-722可靠、坚固、经济实惠,是全球许多半导体制造商的理想解决方桉。