二手 HITACHI U-722 #9211147 待售

HITACHI U-722是一个双区域,干膜蚀刻器和asher.它专为半导体制造中使用的各种蚀刻和灰化工艺而设计。它最多利用两个加工室从一个晶片蚀刻或灰分。该机器能够实现各种蚀刻或灰化操作的高均匀性结果,如化学气相沉积、等离子体增强型化学气相沉积、光敏剥离、灰化和干蚀刻。U-722结合了一个蚀刻系统和一个asher的能力。在蚀刻操作中，机器利用加热的氧化物涂层参考板，根据客户的要求进行精确的蚀刻。参考板和蚀刻中的晶片都接收射频后沉积，而参考板则提供一个表面，使晶片在蚀刻过程中与板保持接触。这提供了快速、高效、均匀的基材蚀刻。Asher还利用加热的氧化物涂层参考板来实现基材的均匀灰化。HITACHI U-722的自动化也使它易于操作。它有一个内置的自动顺序控制器，对每个工艺室进行温度和压力控制。该系统还易于使用图形用户界面进行监控，允许操作员实时监控流程。机器的精度是U-722的另一个关键特征.其蚀刻工艺和灰化工艺均具有精确的残留气体控制，具有较高的均匀性和良好的收率。它的离子源也被设计成在整个晶片表面由于其角度的喷嘴设计而赋予均匀的均匀性。该设计还为操作员提供了蚀刻或灰化过程的清晰视图,确保所有操作都按照确切的规范执行。最后,HITACHI U-722设计用于可靠和低维护操作。该机配备了易于使用、使用寿命长的部件和密封的腔室结构，允许整个过程周期的正压。由于更换零件的次数最少,因此提供了最小的停机时间。这使U-722成为可靠、可重复和经济高效的蚀刻和灰化操作的理想选择。